二光子重合とも呼ばれる三次元(3D)レーザーリソグラフィーは、非常に微細な分解能で複雑な三次元微細構造を生成する先進的な方法です。フェムト秒領域の高エネルギーパルスを使用して、IMRAのフェムト秒ファイバーレーザーは、2光子重合などの非線形相互作用プロセスを利用して、サブマイクロスケールの寸法を持つ複雑な構造をリソグラフィで生成することができます。
厳密な集光により、レーザービームの強度を、単一波長（～1 µm）の小さなレーザースポットに制限することができます。3Dレーザーリソグラフィーでは、IMRAレーザーの高い選択性を利用して、感光性材料（フォトレジスト）の局所的な2光子重合を開始します。この特定の光吸収により、照射された領域の接合と硬化が開始されます。焦点をスキャンすることで、所定の3D構造を前例のない解像度で印刷することができます。
