フェムト秒レーザパルスの高いピーク強度は、ガラスまたは透明ポリマーのような透明材料において非線形吸収を誘発します。 透明材料の内部の焦点で生じる吸収は、材料の改質による3D構造の生成を可能にします。光強度がフルーエンス閾値を越える領域に限定して材料が改質される特性を利用して、集光スポットサイズよりも小さな形状を加工することができます。
フェムト秒レーザ直接描画と、その後のHFエッチングによって作られたナノ水族館内のフォルミディウム細菌滑走。使用許可取得済。
直接描画 特定の光学材料では、フェムト秒レーザによる加工は、レーザ焦点における屈折率の変化を引き起こします。 この変化は、材料のバルク内部に光導波路及び回折光学素子を形成することができます。 右にある事例では、IMRAのフェムト秒ファイバレーザを使用して、微生物の動きを研究するためのナノ水槽を作りました。
バルク内部選択的レーザエッチング フェムト秒レーザによって改質された領域は、材料のバルクと異なる化学的および機械的特性を持っています。一部の物質については、修正された材料は非修正材料と比べてエッチング剤に非常に反応しやすくなります。バルク内部選択的レーザエッチング(ISLE)と呼ばれるこの方法は、ドイツのアーヘンにあるIMRAのプレミア応用ラボで開発されたもので、きわめて高いアスペクト比の切断を行うために利用できます。
