パルスレーザー堆積

ナノ秒PLD（左図）とFCPAフェムト秒PLD（右図）によるFeSi2フィルムの比較

高繰返し周波数、可変パルスエネルギー、及び超短パルスの組み合わせで、PLDプロセスを調整し優れたフィルム品質を作り出します。 その一例として、ドロップレットフリーコーティングを作り出します。 従来のナノ秒パルスレーザは、アブレーションプラズマ中に大きな液滴を生成することが多く、不均一なコーティングになります。ＦＣＰＡは、その超短パルス性により、液滴フリーのプラズマを生成する低温アブレーションに最適であり、かつ、その高繰り返し性により、高速の蒸着スピードを可能にします。 上図は、ナノ秒とFCPA PLDフィルムとの形状の比較になります。